薄膜材料科学

Author: (美)奥林 著;刘卫国 等译

Publishers: 国防工业出版社

Publishing year: 2013

ISBN: 9787118081442

Subject: [TB383 特种结构材料]

Language: CHS

Introduction

《薄膜材料科学(第2版)》详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,各章后面附有习题,是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。该书自1992年第1版问市以来,深受材料科学界的广泛欢迎。非常适用于从事薄膜材料研究的专业研究人员、材料类院系高年级本科生和研究生作教材或参考书。本书由中国科学院物理研究所研究员曹则贤先生特别推荐。

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